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 产品设备简介：C9000H垂直线行驶发主轴电机带动的空气轴套软件在垂线外观和技术水平外观逐一选用了可行的预初始化清理。它可展示 比较突出的高KBK刚性，是轻载和偏置环境下用途的十分的完美取舍。自带的垂直线行驶伺服控制器发主轴电机选用了零齿槽滞后效应的无铁芯组成，无吸引顾客力，展示 十分的非凡的线性有氧运动。 能力指標：

行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
驱动系统:  直线伺服电机 (PAEKER-9000-A-668H)
反馈:  非接触直线光栅尺
分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
最大负载:  55.0 kg
连续保持推力:  153.6 N
峰值推力:  742.8 N
全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
空气消耗量: <2 scfm
平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg